所謂精密和超精密磨料加工就是利用細(xì)粒度的磨粒和微粉對黑色金屬、硬脆材料等進(jìn)行加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度。精密和超精密磨料加工可分為固結(jié)磨料和游離磨料兩大類。固結(jié)磨料加工是將磨料或微粉與黏結(jié)劑粘合在一起，形成一定的形狀并具有一定強(qiáng)度，再采用燒結(jié)、粘接、涂覆等方法形成砂輪、砂條、磨石、砂帶等磨具；游離磨料加工中磨料或微粉不是固結(jié)在一起，而是呈游離狀態(tài)。

1、固結(jié)磨具精密磨削機(jī)理

精密磨削是指加工精度為1～0.1μm、表面粗糙度Ra值達(dá)到0.2～0.01μm的磨削方法。表面粗糙度Ra值達(dá)到0.01μm以下，表面光澤如鏡的磨削方法，稱為鏡面磨削。

（1）微刃的微切削作用 在精密磨削中，通過較小的修整導(dǎo)程和修整深度來精細(xì)地修整砂輪，使磨粒具有較好的微刃性。這種砂輪磨削時，同時參加切削的刃口增多，深度減小，由于微刃的微切削作用形成了表面粗糙度值較小的表面。

（2）微刃的等高切削作用 微刃是由砂輪的精細(xì)修整形成的，分布在砂輪表層的同一深度上的微刃數(shù)量多、等高性好（即細(xì)而多的切削刃具有平坦的表面），使得加工表面的殘留高度極小，因而形成了小的表面粗糙度值。

（3）微刃的滑擠、摩擦、拋光作用 砂輪修整后出現(xiàn)的微刃切削開始比較銳利，切削作用強(qiáng)，隨著磨削時間的增加，微刃逐漸鈍化，同時等高性得到改善。這時切削作用減弱，滑擦、擠壓、拋光作用增強(qiáng)。磨削區(qū)的高溫使金屬軟化，鈍化微刃的滑擦和擠壓將工件表面凸峰碾平，降低了表面粗糙度值。

2．游離磨料加工技術(shù)

將游離狀態(tài)下的細(xì)磨料或磨料微粉放在工件和工具之間進(jìn)行研磨和拋光稱為精密和超精密游離磨料加工。游離磨料加工技術(shù)是不切除或切除極薄的材料層，用以降低工件表面粗糙度值或強(qiáng)化加工表面的加工方法，多用于最終工序加工。近年來出現(xiàn)了許多新的游離磨料加工方法，如磁力研磨、彈性發(fā)射加工、磁流體拋光、磨料流加工、化學(xué)機(jī)械拋光等。